2018年10月19日,信息学院拟购的“半导体特性分析系统”和“探针台”购置可行性论证会在微纳电子大厦205会议室召开,由信息学院副院长谢冰教授主持。
拟购的“半导体特性分析系统”是一套用于半导体材料与器件、纳米材料与器件等的电学性能参数测试的系统。“探针台”是提供电学信号输入输出的设备,一般用于半导体材料与器件的相关电学参数测试的前端。目前校内同类设备使用机时饱满,无法满足申请人的需求。专家组根据申请人课题组研究需要认为,拟购设备实现了高精度地信号产生与快速采样,性能可靠,满足申请人搭建先进的表征测试平台的需求,为实现复杂的纳米尺度器件与材料表征和光电融合集成提供关键的硬件条件支撑。设备的购置将对北京大学微纳电子新器件的研究具有推动作用。
专家组一致同意通过上述设备的可行性论证,设备的购置经费来源为“纳光电子前沿创新中心经费”,由信息学院王润声副教授申请购置。仪器设备购置经费已落实,运行经费有保障。设备购置后将用于新工艺、新材料、新结构器件等科研工作,预计年使用机时为3000小时左右。可行性论证专家组由中科院物理所张建军研究员,中科院微电子所杨红副研究员,北京大学物理学院刘开辉研究员,北京大学信息科学学院刘力锋教授、贺明研究员组成。